Over de precieze invulling van het instituut wordt nog gesproken. Duidelijk is wel dat het onderzoek in lijn met het academische karakter een meer fundamentele insteek krijgt. ASML besteedt dat soort research nu meestal nog op projectbasis uit, maar zou meerwaarde zien in het bundelen ervan op één locatie. Het bedrijf zou ongeveer de helft van de kosten voor zijn rekening willen nemen, overheden en onderzoeksfinanciers moeten de andere helft financieren.